(1)　density，這個(gè)是最主要的，好的靶密度至少達(dá)到97%以上，所以大家買回靶來以后可以根據(jù)重量體積來計(jì)算一下你們的靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少，低于90%的退貨。

　　(2)　開裂問題，套磁靶很容易開裂，所以大家一定要求用cu的背板，這個(gè)是必須的，另外靶材不宜太厚，小于5mm最好了。金屬靶是不大會(huì)開裂的，否則它的密度肯定很差。

　　(3)　電導(dǎo)率，對(duì)于AZO，　ITO靶材來說，買回來了可以測(cè)測(cè)他們的電導(dǎo)率是多少，不同公司用的粉不同，電導(dǎo)率有很大差別，越小你　做出來的膜導(dǎo)電性肯定越好了。否則你死活都做不出你需要的電阻率的。

　　好的AZO靶材的AZO粉很重要，最好的是用純的AZO粉，但是價(jià)格很貴，而且工藝比較復(fù)雜，這樣的靶材做出來的膜電阻率最好。

　　目前國(guó)內(nèi)主要是采用ZnO和Al2O3粉摻在一起做，但是問題是Al很難摻雜進(jìn)ZnO中，所以電阻率不大好。ITO相類似。

　　建議靶材不要自己做，還是花錢買些大公司的靶材。你自己做一方面浪費(fèi)時(shí)間，另外一方面你距離真正的好地靶材的距離太遠(yuǎn)了，目前你的條件完全不可能實(shí)現(xiàn)。