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合金靶材
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金屬濺射靶材
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純度


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金屬

靶材

高純鋁靶

Al

5N-6N

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Mg

3N5

高純銅靶

Cu

4N-6N

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Fe

3N5-4N

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In

4N-5N

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Ni

3N-5N

高純錫靶

Sn

4N-5N

高純鈷

Co

3N5

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Zn

4N-5N

高純鋯靶

Zr

2N5 3N


粉末

冶金

靶材

高純鉻靶

Cr

2N5 3N5

高純釩靶

V

3N 3N5

高純鎢靶

W

3N5 4N 5N

高純鉭靶

Ta

3N5 4N

高純鉬靶

Mo

3N5 4N

高純鈮靶

Nb

3N5 4N

高純錸靶

Re

3N 4N





貴金

屬靶

高純金靶

Au

4N

高純釕靶

Ru

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高純銀靶

Ag

4N

高純銥靶

Ir

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Pt

4N

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Pd

4N





其他

靶材

高純硼靶

B

3N

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4N

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C

4N 5N

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Si

5N 6N

高純銻靶

Sb

4N

高純鍺靶

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4N

高純錳靶

Mn

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稀土

金屬

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Sc

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3N 4N

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