真空鍍膜 主要利用輝光放電(glow  discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。濺鍍薄膜的性質(zhì)、均勻度都比蒸鍍薄膜來(lái)的好,但是鍍膜速度卻比蒸鍍慢很多。新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周?chē)臍鍤怆x子化,造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加,提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glow  discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面，電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成薄膜。一般來(lái)說(shuō)，利用濺鍍制程進(jìn)行薄膜披覆有幾項(xiàng)特點(diǎn)：(1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。(2)再適當(dāng)?shù)脑O(shè)定條件下可將多元復(fù)雜的靶材制作出同一組成的薄膜。(3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體，可以制作靶材物質(zhì)與氣體分子的混合物或化合物。(4)靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制，容易得到高精度的膜厚。(5)較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。(6)濺射粒子幾不受重力影響，靶材與基板位置可自由安排。(7)基板與膜的附著強(qiáng)度是一般蒸鍍膜的10倍以上，且由于濺射粒子帶有高能量，在成膜面會(huì)繼續(xù)表面擴(kuò)散而得到硬且致密的薄膜，同時(shí)此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高，可生產(chǎn)10nm以下的極薄連續(xù)膜。(9)靶材的壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)時(shí)間自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)。(10)靶材可制作成各種形狀，配合機(jī)臺(tái)的特殊設(shè)計(jì)做更好的控制及最有效率的生產(chǎn)。

  光學(xué)鍍膜 

一、 耐磨損膜（硬膜） 

無(wú)論是無(wú)機(jī)材料還是有機(jī)材料制成的眼鏡片，在日常的使用中，由于與灰塵或砂礫（氧化硅）的摩擦都會(huì)造成鏡片磨損，在鏡片表面產(chǎn)生劃痕。與玻璃片相比，有機(jī)材料制成的硬性度比較低，更易產(chǎn)生劃痕。通過(guò)顯微鏡，我們可以觀察到鏡片表面的劃痕主要分為二種，一是由于砂礫產(chǎn)生的劃痕，淺而細(xì)小，戴鏡者不容易察覺(jué)；另一種是由較大砂礫產(chǎn)生的劃痕，深且周邊粗糙，處于中心區(qū)域則會(huì)影響視力。 

（1）技術(shù)特征 

1）第一代抗磨損膜技術(shù) 

抗磨損膜始于20世紀(jì)70年代初，當(dāng)時(shí)認(rèn)為玻璃鏡片不易磨制是因?yàn)槠溆捕雀?，而有機(jī)鏡片則太軟所以容易磨損。因此將石英材料于真空條件下鍍?cè)谟袡C(jī)鏡片表面，形成一層非常硬的抗磨損膜，但由于其熱脹系數(shù)與片基材料的不匹配，很容易脫膜和膜層脆裂，因此抗磨損效果不理想。 

2）第二代抗磨損膜技術(shù) 

20世紀(jì)80年代以后，研究人員從理論上發(fā)現(xiàn)磨損產(chǎn)生的機(jī)理不僅僅與硬度相關(guān)，膜層材料具有“硬度/形變”的雙重特性，即有些材料的硬度較高，但變形較小，而有些材料硬度較低，但變形較大。第二代的抗磨損膜技術(shù)就是通過(guò)浸泡工藝法在有機(jī)鏡片的表面鍍上一種硬度高且不易脆裂的材料。 

3）第三代抗磨損膜技術(shù) 

第三代的抗磨損膜技術(shù)是20世紀(jì)90年代以后發(fā)展起來(lái)的，主要是為了解決有機(jī)鏡片鍍上減反射膜層后的耐磨性問(wèn)題。由于有機(jī)鏡片片基的硬度和減反射膜層的硬度有很大的差別，新的理論認(rèn)為在兩者之間需要有一層抗磨損膜層，使鏡片在受到砂礫磨擦?xí)r能起緩沖作用，并而不容易產(chǎn)生劃痕。第三代抗磨損膜層材料的硬度介于減反射膜和鏡片片基的硬度之間，其磨擦系數(shù)低且不易脆裂。 

4）第四代抗磨損膜技術(shù) 

第四代的抗膜技術(shù)是采用了硅原子，例如法國(guó)依視路公司的帝鍍斯（TITUS）加硬液中既含有有機(jī)基質(zhì)，又含有包括硅元素的無(wú)機(jī)超微粒物，使抗磨損膜具備韌性的同時(shí)又提高了硬度。現(xiàn)代的鍍抗磨損膜技術(shù)最主要的是采用浸泡法，即鏡片經(jīng)過(guò)多道清洗后，浸入加硬液中，一定時(shí)間后，以一定的速度提起。這一速度與加硬液的黏度有關(guān)，并對(duì)抗磨損膜層的厚度起決定作用。提起后在100 °C左右的烘箱中聚合4－5小時(shí)，鍍層厚約3－5微米。 

（2）測(cè)試方法 

判斷和測(cè)試抗磨損膜耐磨性的最根本的方法是臨床使用，讓戴鏡者配戴一段時(shí)間，然后用顯微鏡觀察并比鏡片的磨損情況。當(dāng)然，這通常是在這一新技術(shù)正式推廣前所采用的方法，目前我們常用的較迅速、直觀的測(cè)試方法是： 

1）磨砂試驗(yàn) 

將鏡片置于盛有砂礫的宣傳品內(nèi)（規(guī)定了砂礫的粒度和硬度)，在一定的控制下作來(lái)回磨擦。結(jié)束后用霧度計(jì)測(cè)試鏡片磨擦前后的光線漫反射量，并且與標(biāo)準(zhǔn)鏡片作比較。 

2）鋼絲絨試驗(yàn) 

用一種規(guī)定的鋼絲絨，在一定的壓力和速度下，在鏡片表面上磨擦一琿的次數(shù)，然后用霧度計(jì)測(cè)試鏡片磨擦前后的光線漫反射量，并且與標(biāo)準(zhǔn)鏡片作比較。當(dāng)然，我們也可以手工操作，對(duì)二片鏡片用同樣的壓力磨擦同樣的次數(shù)，然后用肉眼觀察和比較。 

上述兩種測(cè)試方法的結(jié)果與戴鏡者長(zhǎng)期配戴的臨床結(jié)果比較接近。 

3）減反射膜和抗磨損膜的關(guān)系 

鏡片表面的減反射膜層是一種非常薄的無(wú)機(jī)金屬氧化物材料（厚度低于1微米），硬且脆。當(dāng)鍍于玻璃鏡片上時(shí)，由于片基比較硬，砂礫在其上面劃過(guò)，膜層相對(duì)不容易產(chǎn)生劃痕；但是減反射膜鍍于有機(jī)鏡片上時(shí)，由于片基較軟，砂礫在膜層上劃過(guò)，膜層很容易產(chǎn)生劃痕。因此有機(jī)鏡片在鍍減反射膜前必須要鍍抗磨損膜，而且兩種膜層的硬度必須相匹配。 

二、 減反射膜 

（1）為什么需要鍍減反射膜？ 

1）鏡面反射 

光線通過(guò)鏡片的前后表面時(shí)，不但會(huì)產(chǎn)生折射，還會(huì)產(chǎn)生反射。這種在鏡片前表面產(chǎn)生的反射光會(huì)使別人看戴鏡者眼睛時(shí)，看到的卻是鏡片表面一片白光。拍照時(shí)，這種反光還會(huì)嚴(yán)重影響戴鏡者的美觀。 

2）"鬼影" 

眼鏡光學(xué)理論認(rèn)為眼鏡片屈光力會(huì)使所視物體在戴鏡者的遠(yuǎn)點(diǎn)形成一個(gè)清晰的像，也可以解釋為所視物的光線通過(guò)鏡片發(fā)生偏折并聚集于視網(wǎng)膜上，形成像點(diǎn)。但是由于屈光鏡片的前后表面的曲率不同，并且存在一定量的反射光，它們之間會(huì)產(chǎn)生內(nèi)反射光。內(nèi)反射光會(huì)在遠(yuǎn)點(diǎn)球面附近產(chǎn)生虛像，也就是在視網(wǎng)膜的像點(diǎn)附近產(chǎn)生虛像點(diǎn)。這些虛像點(diǎn)會(huì)影響視物的清晰度和舒適性。 

3）眩光 

象所有光學(xué)系統(tǒng)一樣，眼睛并不完美，在視網(wǎng)膜上所成的像不是一個(gè)點(diǎn)，而是一個(gè)模糊圈。因此，二個(gè)相鄰點(diǎn)的感覺(jué)是由二個(gè)并列的或多或少重疊的模糊圈產(chǎn)生的。只要二點(diǎn)之間的距離足夠大，在視網(wǎng)膜上的成像就會(huì)產(chǎn)生二點(diǎn)的感覺(jué)，但是如果二點(diǎn)太接近，那么二個(gè)模糊圈會(huì)趨向與重合，被誤認(rèn)為是一個(gè)點(diǎn)。 

對(duì)比度可以用來(lái)反映這種現(xiàn)象，表達(dá)視力的清晰度。對(duì)比值必須大于某一確定值（察覺(jué)閾，相當(dāng)于1－2）才能夠確保眼睛辨別二個(gè)鄰近點(diǎn)。 

對(duì)比度的計(jì)算公式為：D＝（a-b)/(a+b) 

其中C為對(duì)比度，二個(gè)相鄰物點(diǎn)在視網(wǎng)膜上所成像的感覺(jué)最高值為a,相鄰部份的最低值為b。如果對(duì)比度C值越高，說(shuō)明視覺(jué)系統(tǒng)對(duì)該二點(diǎn)的分辨率越高，感覺(jué)越清晰；如果二個(gè)物點(diǎn)非常接近，它們的相鄰部分的最低值比較接近于最高值，則C值低，說(shuō)明視覺(jué)系統(tǒng)對(duì)該二點(diǎn)感到不清晰，或不能清晰分辨。 

讓我們來(lái)模擬這樣一個(gè)場(chǎng)景產(chǎn)：夜晚，一位戴眼鏡的駕車(chē)者清晰地看見(jiàn)對(duì)面遠(yuǎn)處有二輛自行車(chē)正沖著他的車(chē)騎過(guò)來(lái)。此時(shí)，尾隨其后的汽車(chē)的前燈在駕車(chē)者鏡片后表面上產(chǎn)生反射：該反射光在視網(wǎng)膜上形成的像增加了二個(gè)被觀察點(diǎn)的強(qiáng)度（自行車(chē)車(chē)燈）。所以，a段和b段的長(zhǎng)度增加，即然分母(a+b)增加，而分子（a-b)保持不變，于是就引起了C值的減少。對(duì)比減小的結(jié)果會(huì)令駕駛員最初產(chǎn)生的存在二個(gè)騎車(chē)人的感覺(jué)重合成為單一的像，就好比區(qū)分它們的角度被突然減??！ 

4）透過(guò)量 

反射光占入射光的百分比取決于鏡片材料的折射率，可通過(guò)反射量的公式進(jìn)行計(jì)算。 

反射量公式：R＝（n-1)平方/(n+1)平方 

R：鏡片的單面反射量 n：鏡片材料的折射率 

例如普通樹(shù)脂材料的折射率為1.50，反射光R＝（1.50－1）平方/（1.50＋1）平方＝0.04＝4%。 

鏡片有兩個(gè)表面，如果R1為鏡片前表面的量，R2為鏡片后表面的反射量，則鏡片的總反射量R＝R1＋R2。（計(jì)算R2的反射量時(shí)，入射光為100%－R1）。鏡片的透光量T＝100%-R1-R2。 

由此可見(jiàn)，高折射率的鏡片如果沒(méi)有減反射膜，反射光會(huì)對(duì)戴鏡者帶來(lái)的不適感比較強(qiáng)烈。 

（2）原理 

減反射膜是以光的波動(dòng)性和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。二個(gè)振幅相同，波長(zhǎng)相同的光波疊加，那么光波的振幅增強(qiáng)；如果二個(gè)光波原由相同，波程相差，如果這二個(gè)光波疊加，那么互相抵消了。減反射膜就是利用了這個(gè)原理，在鏡片的表面鍍上減反射膜，使得膜層前后表面產(chǎn)生的反射光互相干擾，從而抵消了反射光，達(dá)到減反射的效果。 

1）振幅條件 

膜層材料的折射率必須等于鏡片片基材料折射率的平方根。 

2）位相條件 

膜層厚度應(yīng)為基準(zhǔn)光的1/4波長(zhǎng)。d=λ/4 λ=555nm時(shí)，d=555/4=139nm 

對(duì)于減反射膜層，許多眼鏡片生產(chǎn)商采用人眼敏感度較高的光波（波長(zhǎng)為555nm)。當(dāng)鍍膜的厚度過(guò)?。ā?39nm),反射光會(huì)顯出淺棕黃色，如果呈藍(lán)色則表示鍍膜的厚度過(guò)厚（ 〉139nm）。 

鍍膜反射膜層的目的是要減少光線的反射，但并不可能做到?jīng)]有反射光線。鏡片的表面也總會(huì)有殘留的顏色，但殘留顏色哪種是最好的，其實(shí)并沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)，目前主要是以個(gè)人對(duì)顏色的喜好為主，較多為綠色色系。 

我們也會(huì)發(fā)現(xiàn)殘留顏色在鏡片凸面與凹面的曲率不同也使鍍膜的速度不同，因此在鏡片中央部分呈綠色，而在邊緣部分則為淡紫紅色或其它顏色。 

3）鍍減反射膜技術(shù) 

有機(jī)鏡片鍍膜的難度要比玻璃鏡片高。玻璃材料能夠承受300 °C以上的高溫，而有機(jī)鏡片在超過(guò)100 °C時(shí)便會(huì)發(fā)黃，隨后很快分解。 

可以用于玻璃鏡片的減反射膜材料通常采用氟化鎂（MgF2），但由于氟化鎂的鍍膜工藝必須在高于200°C的環(huán)境下進(jìn)行，否則不能附著于鏡片的表面，所以有機(jī)鏡片并不采用它。 

20世紀(jì)90年代以后，隨著真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展，利用離子束轟擊技術(shù)，使得膜層與鏡片的結(jié)合，膜層間的結(jié)合得到了改良。而且提煉出的象氧化鈦，氧化鋯等高純度金屬氧化物材料可以通過(guò)蒸發(fā)工藝鍍于樹(shù)脂鏡片的表面，達(dá)到良好的減反射效果。 

以下對(duì)有機(jī)鏡片的減反射膜鍍膜技術(shù)作一介紹。 

1）鍍膜前的準(zhǔn)備 

鏡片在接受鍍膜前必須進(jìn)行預(yù)清洗，這種清洗要求很高，達(dá)到分子級(jí)。在清洗槽中分別放置各種清洗液，并采用超聲波加強(qiáng)清洗效果，當(dāng)鏡片清洗完后，放進(jìn)真空艙內(nèi)，在此過(guò)程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表面。最后的清洗是在真空艙內(nèi)，在此過(guò)程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表面。最后的清洗是在真空艙內(nèi)鍍前進(jìn)行的，放置在真空艙內(nèi)的離子槍將轟擊鏡片的表面（例如用氬離子），完成此道清洗工序后即進(jìn)行減反射膜的鍍膜。 

2）真空鍍膜 

真空蒸發(fā)工藝能夠保證將純質(zhì)的鍍膜材料鍍于鏡片的表面，同時(shí)在蒸發(fā)過(guò)程中，對(duì)鍍膜材料的化學(xué)成分能?chē)?yán)密控制。真空蒸發(fā)工藝能夠?qū)τ谀拥暮穸染_控制，精度達(dá)到。 

3）膜層牢固性 

對(duì)眼鏡片而言，膜層的牢固性是至關(guān)重要的，是鏡片重要的質(zhì)量指標(biāo)。鏡片的質(zhì)量指標(biāo)包括鏡片抗磨損、抗文化館、抗溫差等。因此現(xiàn)在有了許多針對(duì)性的物理化學(xué)測(cè)試方法，在模擬戴鏡者的使用條件下，對(duì)鍍膜鏡片進(jìn)行膜層牢度質(zhì)量的測(cè)試。這些測(cè)試方法包括：鹽水試驗(yàn)、蒸汽試驗(yàn)、去離子水試驗(yàn)、鋼絲絨磨擦試驗(yàn)、溶解試驗(yàn)、黏著試驗(yàn)、溫差試驗(yàn)和潮濕度試驗(yàn)等等。 

三、 抗污膜（頂膜） 

（1）原理 

鏡片表面鍍有多層減反射膜后，鏡片特別容易產(chǎn)生污漬，而污漬會(huì)破壞減反射膜的減反射效果。在顯微鏡下，我們可以發(fā)現(xiàn)減反射膜層呈孔狀結(jié)構(gòu)，所以油污特別容易浸潤(rùn)至減反射膜層。解決的方法是在減反射膜層上再鍍一層具有抗油污和抗水性能的頂膜，而且這層膜必須非常薄，以使其不會(huì)改變減反射膜的光學(xué)性能。 

（2）工藝 

抗污膜的材料以氟化物為主，有二種加工方法，一種是浸泡法，一種是真空鍍膜，而最常見(jiàn)的方法是真空鍍膜。而最常用的方法是真空鍍膜。當(dāng)減反射膜層完成后，可使用蒸發(fā)工藝將氟化物鍍于反射膜上?？刮勰た蓪⒍嗫椎臏p反射膜層覆蓋起來(lái)，并且能夠?qū)⑺陀团c鏡片的接觸面積減少，使油和水滴不易粘附于鏡片表面，因此也稱為防水膜。 

對(duì)于有機(jī)鏡片而言，理想的表面系統(tǒng)處理應(yīng)該是包括抗磨損膜、多層減反射膜和頂膜抗污膜的復(fù)合膜。通?？鼓p膜鍍層最厚，約為3－5mm，多層減反射膜的厚度約為0.3um，頂層抗污臘鍍最薄，約為0.005－0.01mm。以法國(guó)依視路公司的鉆晶（crizal)，復(fù)合膜為例，在鏡片的片基上首先鍍上具有有機(jī)硅的耐磨損膜；然后采用IPC的技術(shù)，用離子轟擊進(jìn)行鍍減反射膜前的預(yù)清洗；清洗后采用高硬度的二氧化鋯（ZrO2)等材料進(jìn)行多層減反射膜層的真空鍍制；最后再鍍上具有110的接觸角度的頂膜。鉆晶復(fù)合膜技術(shù)的研制成功表明了有機(jī)鏡片的表面處理技術(shù)達(dá)到了一個(gè)新的高度。

如果只是就膜厚儀測(cè)試來(lái)講的話，真空鍍膜和光學(xué)鍍膜的區(qū)別就是：

1、真空鍍膜：一般TiN,CrN，TiC，ZrN，電鍍出來(lái)的厚度大概是3~5微米。一般情況真空鍍膜的厚度是在設(shè)備上測(cè)試不出來(lái)了；

2、光學(xué)鍍膜的膜厚測(cè)試可以在鍍膜機(jī)的中間頂上裝置膜厚測(cè)試儀即可。

最早的是光控測(cè)試，現(xiàn)在一般用晶控（晶振片）使用的是晶振片震動(dòng)的頻率來(lái)測(cè)試鍍膜的厚度。不同膜層的厚度不同。

就算鍍膜機(jī)是國(guó)產(chǎn)的，膜厚測(cè)試儀也是美國(guó)或者是韓國(guó)的。通用美國(guó)的型號(hào)是：MDC360C。